Mikrosysteme

micro-electro-mechanical systems (MEMS)

Zielke, Dirk 2025 Springer Vieweg

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https://d-nb.info/1359870504

Titel

Mikrosysteme : micro-electro-mechanical systems (MEMS)

Art des Inhalts

Monographie

Verfassangaben

Dirk Zielke

Autor

Zielke, Dirk

Organisation(en)

• Springer-Verlag GmbH

Verlag

Berlin : Springer Vieweg [[2025]]

Jahr

Erscheinungsdatum: 2025

Umfang/Format

IX, 205 Seiten

ISBN/Einband/Preis

9783662712320

Online

https://deposit.dnb.de/cgi-bin/dokserv?id=5f2ec85b46484a4bba1093fab7bbc022

Sprache

ger

Schlagwörter

• MEMS
• Sensoren
• Mikrosystemtechnik
• Halbleitertechnologie
• Elektronik
• Sensordatenfusion
• Aktoren
• (Springer Nature Taxonomy)6940: Microsystems and MEMS
• (Springer Nature Taxonomy)4482: Electronics and Microelectronics, Instrumentation
• (Springer Nature Taxonomy)4927: Electronic Circuits and Systems

Stand

04.02.2026 22:02

Im Katalog seit

07.03.2026

Beschreibung vom Verlag

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