„Halbleitertechnologie“

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• Herstellung anwendungsbezogener SiO2-Grabenstrukturen im sub-μm-Bereich durch RIE und ICP-Prozesse.
  Schäfer, Toni ; Mönch, Ingolf ; Geßner, Thomas ; Bertz, Andreas 2006 Universitätsbibliothek Chemnitz
• Enabling control of matter at the atomic level: atomic layer deposition and fluorocarbon-based atomic layer etching
  Dallorto, Stefano ; Rangelow, Ivo W. ; Schwartzberg, Adam ; Strehle, Steffen 2020 TU Ilmenau
• Antriebsstrang und Halbleitertechnologien im Elektrofahrzeug von morgen
  Geiger, Dirk ; Bauer, Christoph
• Intelligent production control for time-constrained complex job shops
  May, Marvin Carl 2024 Shaker
• Intelligent production control for time-constrained complex job shops
  May, Marvin Carl ; Lanza, Gisela ; Tolio, Tullio 2024 KIT-Bibliothek
• Mikrosysteme – micro-electro-mechanical systems (MEMS)
  Zielke, Dirk 2025 Springer Vieweg
• Silizium-Halbleitertechnologie – Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik
  Hilleringmann, Ulrich 2023 Springer Fachmedien Wiesbaden
• Silicon Semiconductor Technology – Processing and Integration of Microelectronic Devices
  Hilleringmann, Ulrich 2023 Springer Fachmedien Wiesbaden
• Physik der Halbleiterbauelemente – Einführendes Lehrbuch für Ingenieure und Physiker
  2005 Springer Berlin Heidelberg
• Elektrotechnik für Gebäudetechnik und Maschinenbau
  Böker, Andreas ; Paerschke, Hartmuth ; Boggasch, Ekkehard 2019 Springer Fachmedien Wiesbaden
• Silizium-Halbleitertechnologie – Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik
  Hilleringmann, Ulrich 2019 Springer Fachmedien Wiesbaden
• Elektrotechnik für Gebäudetechnik und Maschinenbau
  Böker, Andreas ; Paerschke, Hartmuth ; Boggasch, Ekkehard 2017 Springer Fachmedien Wiesbaden
• Silizium-Halbleitertechnologie – Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik
  Hilleringmann, Ulrich 2014 Springer Fachmedien Wiesbaden
• Elektronik – Lehr- und Übungsbuch für Grundschaltungen der Elektronik, Leistungselektronik, Digitaltechnik/Digitalisierung mit einem Repetitorium Elektrotechnik
  Zastrow, Dieter 2014 Springer Fachmedien Wiesbaden
• Physik der Halbleiterbauelemente – Einführendes Lehrbuch für Ingenieure und Physiker
  2011 Springer Berlin Heidelberg
• Kostenoptimierter Einsatz der Radialumformmaschine in gemischten, flexiblen Fertigungssystemen
  Dostal, Michael 1984 Springer Berlin Heidelberg
• SchOHTA – Handbuch Schichten, Oberflächen, Halbleiter-Technologien und Anwendungen und deren Anbieter in Deutschland, Schweiz und Österreich
  1995 Raabe
• Transport simulation in microelectronics
  Kersch, Alfred ; Morokoff, William J. 1995 Birkhäuser
• Herstellung, Charakterisierung und Bewertung leitfähiger Diffusionsbarrieren auf Basis von Tantal, Titan und Wolfram für die Kupfermetallisierung von Siliciumschaltkreisen
  Baumann, Jens ; Gessner, Thomas ; Richter, Frank ; Bartha, Johann 2004 Universitätsbibliothek Chemnitz
• Entwurfsverfahren für passive hochintegrierte Multimode-Schaltungen der Hochfrequenztechnik in mehrlagigen Herstellungsprozessen
  Sadeghfam, Arash 2008 Shaker