Structural optimization on MEMS z-axis accelerometer
Kalaiselvi, S. ; Sujatha, L. ; Sundar, R.
- Link zu diesem Datensatz
- https://d-nb.info/1385150467
- Titel
- Structural optimization on MEMS z-axis accelerometer
- Art des Inhalts
- Teil eines Werks
- Verfassangaben
- by S. Kalaiselvi, L. Sujatha, R. Sundar
- Autor(en)
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- Kalaiselvi, S.
- Sujatha, L.
- Sundar, R.
- Organisation(en)
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- SpringerLink (Online service)
- Zeitliche Einordnung
- Erscheinungsdatum: 2025
- Umfang/Format
- 1 Online-Ressource.
- DOI
- 10.1007/s00542-025-05924-y
- Online
- https://doi.org/10.1007/s00542-025-05924-y
- Sprache
- eng
- Schlagwörter
- Frühere/spätere Titel
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- Enthalten in: Microsystem technologies
- Enthalten in: Microsystem technologies
- Enthalten in: Microsystem technologies
- Stand
- 06.01.2026 21:29
- Im Katalog seit
- 07.03.2026