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Two‐step diffusion process for EPIC technology

Bashenov, V. K. ; Garyainov, S. A. ; Mednikov, A. K. ; Soloshenko, V. I.

Titel
Two‐step diffusion process for EPIC technology
Art des Inhalts
Teil eines Werks
Autor(en)
  • Bashenov, V. K.
  • Garyainov, S. A.
  • Mednikov, A. K.
  • Soloshenko, V. I.
Zeitliche Einordnung
Erscheinungsdatum: 2006
Umfang/Format
Online-Ressource
DOI
10.1002/pssa.2210100239
Online
https://doi.org/10.1002/pssa.2210100239
Sprache
eng
Frühere/spätere Titel
  • Enthalten in: Physica status solidi. A, Applied research
  • Enthalten in: Physica status solidi. A, Applied research
  • Enthalten in: Physica status solidi. A, Applied research
Stand
11.02.2026 06:35
Im Katalog seit
07.03.2026

Beschreibung vom Verlag

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