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Microstructure Evolution in Metal Interconnects

Smith, D. A. ; Kwok, T. ; Small, M. B. ; Stanis, C.

Titel
Microstructure Evolution in Metal Interconnects
Art des Inhalts
Teil eines Werks
Verfassangaben
by D. A. Smith, T. Kwok, M. B. Small, C. Stanis
Autor(en)
  • Smith, D. A.
  • Kwok, T.
  • Small, M. B.
  • Stanis, C.
Organisation(en)
  • SpringerLink (Online service)
Zeitliche Einordnung
Erscheinungsdatum: 1992
Umfang/Format
Online-Ressource
ISSN
19464274
DOI
10.1557/PROC-265-73
Online
https://doi.org/10.1557/PROC-265-73
Sprache
eng
Schlagwörter
Frühere/spätere Titel
  • Enthalten in: Materials Research Society
  • Enthalten in: Materials Research Society
  • Enthalten in: Materials Research Society
Stand
27.12.2022 21:45
Im Katalog seit
07.03.2026

Beschreibung vom Verlag

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