MEMS Metallization
Lohmann, Christian ; Gottfried, Knut ; Bertz, Andreas ; Reuter, Danny ; Hiller, Karla ; Kuhn, Michael ; Gessner, Thomas
- Link zu diesem Datensatz
- https://d-nb.info/1226006132
- Titel
- MEMS Metallization
- Art des Inhalts
- Teil eines Werks
- Verfassangaben
- by Christian Lohmann, Knut Gottfried, Andreas Bertz, Danny Reuter, Karla Hiller, Michael Kuhn, Thomas Gessner
- Autor(en)
-
- Lohmann, Christian
- Gottfried, Knut
- Bertz, Andreas
- Reuter, Danny
- Hiller, Karla
- Kuhn, Michael
- Gessner, Thomas
- Organisation(en)
-
- SpringerLink (Online service)
- Zeitliche Einordnung
- Erscheinungsdatum: 2004
- Umfang/Format
- Online-Ressource
- ISSN
19464274- DOI
- 10.1557/PROC-812-F8.1
- Online
- https://doi.org/10.1557/PROC-812-F8.1
- Sprache
- eng
- Schlagwörter
- Frühere/spätere Titel
-
- Enthalten in: Materials Research Society
- Enthalten in: Materials Research Society
- Enthalten in: Materials Research Society
- Stand
- 01.02.2021 18:00
- Im Katalog seit
- 07.03.2026