Untersuchungen zur Ionenstrahlsynthese vergrabener metallischer Schichten durch MeV Ni-Implantation in Silizium

Name: Untersuchungen zur Ionenstrahlsynthese vergrabener metallischer Schichten durch MeV Ni-Implantation in Silizium
Author: Lindner, Jörg K. N.

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https://d-nb.info/1077692854

Art des Inhalts

Monographie

Verfassangaben

Jörg K. N. Lindner

Autor

Lindner, Jörg K. N.

Verlag

Augsburg : Universität Augsburg [2007]

Jahr

Erscheinungsdatum: 2007

Umfang/Format

Online-Ressource

Online

https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:384-opus4-4655

Sprache

ger

Sachgruppe(n)

Astronomie, Kartografie
Physik

Schlagwörter

Nickel
Vergrabene Schicht
Silicium
Ionenimplantation

Anmerkungen

Dortmund, Univ., Diss., 1989

Stand

22.12.2025 07:06

Im Katalog seit

06.03.2026

Beschreibung vom Verlag

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